水冷型:設備使用冷卻水散熱,降溫速率快,噪音更低。
風冷型:設備使用風機帶走熱量散熱,無廠務水需求,可自由放置。
智能PID算法,支持分段控溫、自動演算、模糊控制等功能,控溫精度高。
制冷機系統使用熱氣旁通控溫,系統載荷動態調節,節能高效。
產品系列覆蓋多溫區,可匹配半導體行業不同工序。
結構專項優化,振動低,噪音小。
具備自動purge功能。
針對冷卻液管路工藝優化。
【風冷型Chiller】 | |||||
項目 | 單位 | ACSM02AS-5 | ACSM03AS-5 | ACSM05AS-5 | ACSM10AS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.4 | 8.7 | 13.7 | 30.2 |
壓縮機功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循環泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
風機功率 | kW | 0.3 | 0.5 | 1.2 | 2.4 |
總輸入功率 | kW | 2.3 | 3.2 | 4.9 | 9.5 |
運行電流 | A | 5.0 | 6.8 | 11.9 | 21.3 |
供電電源 | 3PH~380V~50Hz(可定制220V) | ||||
循環介質 | 去離子水、氟化液等 | ||||
溫控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
額定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
冷凝器型式 | 高效風冷式冷凝器 | ||||
油箱容積 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷凍進出管徑 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷媒 | R410A | ||||
整機重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
運行噪音@1m | dB(A) | ≤70 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |
【水冷型Chiller】 | |||||
項目 | 單位 | ACSM02WS-5 | ACSM03WS-5 | ACSM05WS-5 | ACSM10WS-5 |
制冷量(10℃) | kW | 5.9 | 9.6 | 14.8 | 31.4 |
壓縮機功率 | kW | 1.6 | 2.3 | 3.1 | 6.3 |
循環泵功率 | kW | 0.4 | 0.4 | 0.6 | 0.8 |
總輸入功率 | kW | 2.0 | 2.7 | 3.7 | 7.1 |
運行電流 | A | 4.5 | 6.0 | 8.9 | 17.4 |
供電電源 | 3PH~380V~50Hz(可定制220V) | ||||
循環介質 | 去離子水、氟化液等 | ||||
溫控精度 | ℃ | ±0.1 | |||
額定流量 | L/min | 25 | 25 | 40 | 80 |
壓力范圍 | Bar | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 | 0.5~3.0 |
冷凝器型式 | 高效水冷式冷凝器 | ||||
油箱容積 | L | ≥2 | ≥3 | ≥5 | ≥10 |
冷卻水流量 | m3/h | 1.8 | 2.5 | 4.2 | 9.9 |
冷凍進出管徑 | Inch | 1.0" | 1.0" | 1.2" | 1.5" |
冷卻進出管徑 | Inch | 1.0" | 1.5" | ||
冷媒 | R410A | ||||
整機重量 | kg | 100.0 | 130.0 | 150.0 | 300.0 |
運行噪音@1m | dB(A) | ≤65 | |||
外形(L*W*H) | cm | 40*60*100 | 40*100*110 | 60*100*120 | 60*100*150 |