AODE 半導體行業解決方案

助力優化半導體材料溫控系統

01 案例介紹

在當今科技飛速發展的時代，作為半導體產業基石的半導體材料，隨著人工智能、大數據和5G技術的廣泛應用，市場需求持續增長。在其生產過程中，對材料溫度的精準控制要求極其嚴格，材料的質量直接影響到下一道工序。因此，溫控方案至關重要。

02 痛點

作為半導體材料制造領域的領先企業，S公司一直致力于通過技術創新提升產品質量。然而，在傳統的蒸汽加熱控溫方式下，S公司面臨著諸多挑戰。

由于無法精確控制反應釜內物料的溫度，導致產品合格率不達標，原材料浪費嚴重，不僅增加了生產成本，也限制了企業的市場競爭力。因此，S公司迫切需要一套全新的溫控解決方案，實現半導體材料制造過程中的精準溫度控制，從而提升產品質量和生產效率。

03解決方案

奧德憑借在工業溫控設備領域深厚的技術積累和豐富的經驗，為S公司量身定制了高精度全廠溫控解決方案。

該解決方案涵蓋了從基礎低溫制冷機組、加熱主機到TCU溫控單元、超低溫-80℃單元等全系列設備，能夠滿足S公司不同工藝環節的嚴苛溫度要求。

01 高溫液體智能溫控設備

溫控范圍為室溫+45℃至180℃。采用加熱和冷卻雙PID動態調節控制模式，確保精準控溫。該設備還支持TCP遠程啟停，方便遠程操作和監控。此外，它還具備超溫、電源逆相、電機過載、介質短缺、管路堵塞、壓力異常、排氣保護等7大安全保護功能，有效保障設備安全穩定運行。

02 高低溫液體智能溫控設備

控溫范圍：-40℃ 至 80℃。采用 PLC + 人機界面的控制方式，操作簡便直觀。電氣箱采用防爆 ExdⅡBT4 設計，適用于特殊環境。并具備 6 項安全保護功能，確保設備在高低溫環境下可靠運行。

03 水冷式防爆低溫冷油機

控溫范圍可達 -80℃ 至 +5℃，滿足超低溫工藝要求。同時配備多項安全保護功能，確保設備在低溫環境下穩定運行。

AODE 溫控系統四大優勢

精準控溫

AODE 溫控設備通過動態調節反應釜內物料的溫度，可實現±0.5℃的高精度控溫，有效解決傳統溫控方式下的溫度偏差問題，確保半導體材料制程的溫度穩定性，從而提高產品質量和一致性。

高效穩定

奧德溫控設備采用多級PID控制技術，并集成多重安全保護措施，不僅能快速響應溫度變化，還能確保設備長期運行的穩定性和可靠性，有效提升生產效率，減少設備故障造成的生產中斷和損失。

整體工廠設計

奧德溫控解決方案可滿足-80℃至180℃的寬溫需求，適用于半導體制程中各種復雜工藝和特殊環境，例如防爆、超低溫等場景，為S公司生產提供全方位的溫度保障。

智能物聯網

通過TCP遠程通訊功能，奧德的設備可實現集中控制，方便S公司對生產過程進行實時監控和數據分析，有利于優化生產流程，提升生產管理水平，加速企業智能化升級進程。

奧德

S公司通過引入奧德高精度全廠溫控解決方案，成功解決了傳統溫控方式帶來的諸多問題，實現了半導體材料制造過程中的精準控溫，顯著提高了產品合格率，減少了原材料浪費，有效提升了公司的生產效率和市場競爭力。

未來，奧德將繼續以創新為動力，以客戶需求為導向，為更多企業提供高品質的溫控解決方案，助力半導體行業及其他高端制造業的高質量發展。